应用原理 :
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,*低可到-150℃;
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出;
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
技术参数:
型号
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TH-135-3P
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TH-135-5P
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TH-135-7P
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TH-135-10P
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TH-135-12P
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TH-135-15P
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压缩机功率 (KW)
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2.8
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4.6
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6.3
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8.5
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10.1
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12.3
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工作温度(℃)
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-120℃至-150℃
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|||||
抽气速度( l/s )
|
30600
|
51000
|
73,000
|
101,000
|
153,000
|
250,000
|
制冷量( W )
|
300
|
500
|
1200
|
1800
|
2500
|
3500
|
冷凝管表面积 (m2)
|
0.15
|
0.3
|
0.5
|
0.7
|
1.0
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2. 0
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冷凝管长度
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8m, φ 6mm
|
10m, φ 10mm
|
12m, φ 12mm
|
14m, φ 16mm
|
24m, φ 16mm
|
40m, φ 16mm
|
预冷时间( min )
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≤30
|
≤30
|
≤30
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≤30
|
≤40
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≤40
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降温时间( min )
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤6
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≤7
|
除霜时间 (min)
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≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
再降温时间 (min)
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤6
|
≤6
|
适用油扩散泵径( mm )
|
≤300
|
≤500
|
≤800
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≤1000
|
双路输出
|
双路输出
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冷却方式
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风冷、水冷 (t≤30 ℃ )
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水冷 (t≤30 ℃ )
|
水冷 (t≤30 ℃ )
|
水冷 (t≤30 ℃ )
|
水冷 (t≤30 ℃ )
|
|
适用腔体直径( mm )
|
≤900
|
≤1300
|
≤1500
|
≤1700
|
≤2000
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